三十万级洁净室空调方案

净化车间属于人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(净化车间)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。所以净化车间为集成电路制造必不能少的因素。

　　

净化车间集中供气系统
　　薄膜间与分析间需要供应特殊高压气体，如高纯氮气、氧气、氮氢混合气，由气瓶间搭建相应管道供应到各个工艺需求点位。气路管径按照流量、压 力和距离确定，气路阀门按照供气方式、气体种类、 管道压力确定功能部件，整体遵循安全、美观、便于维护等原则
　　**光电子器件洁净室的高纯氮气对流量、压 力和总供气量有要求，使用半自动切换汇流排和余量报警装置双重**; 氧气、氮氢混合气加设气体回火防止器，气瓶间使用防爆墙隔离，安全双重**。此外，气路施工采用自动焊接机器确保管路无残留、 零泄漏，汇流排加设吹扫装置确保更换钢瓶时进入高压软管的少量空气被排出。



　　

净化车间根据现场具体情况及净化系统的组成、有步骤有计划的施工，使各工种的施工**的结合，以加快 施工进度。
　

我司具有程设计与施工资质，从事净化洁净系统设计建造，可为、食品厂、实验室、化妆品、电子、洁净厂房等卫生、洁净、无尘场地设计建造无尘车间，满足行业洁净化和无尘化需求。公司拥有一批设计、管理和施工团队，具备丰富的行业实施操作经验，可为客户提供全程服务。